微纳制造工艺与装备

简介

基于金刚石刀具超精密切削、微细电火花/电化学、光刻等加工原理方法,开展微纳/特种加工机理、创新融合工艺与先进装备的研究。面向有色金属、高温合金、生物合金、硬脆材料、功能陶瓷等先进材料,以实现微纳结构精密成形及完整无损表面为目标,开发具有自主创新的微纳加工工艺及其制造装备,为太阳能发电、先进发动机、生物医疗、精微模具等行业提供关键制造技术。

研究方向

菲涅尔透镜模具的加工工艺

微细孔/微喷孔/阵列孔电加工技术

复杂三维微结构/微模具融合工艺

微纳加工过程检测及智能控制技术

电解水式驻留微气泡MEMS蒙皮


基础理论和关键技术

金刚石刀具磨损机理与减磨方法、

不连续非球面微结构加工方法及工艺

微小加工间隙在线检测及伺服控制方法

特殊材料复杂微纳结构高精度创成机理及工艺

材料功能特性引导下的无损伤完整表面演变机制

主要研究成果(2010-2015)

主要承担国家自然科学基金3项、国家863高技术计划3项、北京市基金重点项目1项、国际合作项目1项、企业合作4项。获中国机械工业科学技术发明奖一等奖1项;获授权国家发明专利27项,发表学术论文70余篇,SCI/EI检索30篇。研发出高端柴油发动机喷油嘴微喷孔电火花加工装备并实现工业应用。


微纳制造工艺与装备

微纳制造工艺与装备